日 1세기 업력 토토, 첨단 반도체 부품 납품
세라믹으로 만든 식각 공정용 장치 정전척
3D 낸드플래시 제조 공정 핵심 장비로 등극
일본의 100년 전통 양변기 제조업체 토토(TOTO)가 메모리 반도체 슈퍼 사이클 수혜주로 꼽혀 화제입니다. 지난 6개월간 주가는 58% 뛰었고, 지난 2년 사이 영업익은 20% 이상 개선됐습니다. 양변기 업체가 반도체 호황의 혜택을 받는 이유는 무엇일까요.
100년 된 日 변기 업체도 "AI 수혜주"
지난 17일(현지시간) 영국 금융 매체 파이낸셜타임스(FT)에 따르면, 행동주의 투자자 겸 헤지펀드인 '팰리서 캐피털'은 지난주 토토 이사회에 서한을 보내 "반도체 공급망의 핵심 위상을 차지하고 있는 세라믹 부문을 강화해 달라"고 주문했습니다. 팰리서 캐피털은 토토에 대해 "저평가되고, 간과된 AI 수혜주"라고 강조했지요.
토토는 1917년 일본 후쿠오카에 설립된 양변기, 욕조 제조업체입니다. 화장실에서 흔히 볼 수 있는 새하얀 용기 형태 양변기나 욕조를 전문적으로 제조합니다. 해당 제품의 원료는 세라믹이지요. 다만 세라믹은 화장실에만 쓰이는 물건이 아닙니다. 첨단 반도체 제조 공정에도 세라믹이 중요한 역할을 맡습니다.
변기 원자재로 만든 '정전척' 반도체 공업의 핵심 부상
블룸버그에 따르면 토토의 전체 기업 영업익에서 욕조, 양변기가 차지하는 양은 60%에 그칩니다. 나머지 40%는 반도체 산업에서 나옵니다. 토토는 1980년대부터 '정전척(Electrostatic Chuck)'이라 불리는 세라믹 부품을 제조, 반도체 회사에 납품해 왔습니다.
정전척은 정전기력을 이용해 반도체 웨이퍼(기판)를 고정하는 장치입니다. 반듯한 원판 모양의 세라믹 장치로, 말 그대로 반도체 웨이퍼가 정전척에 '착' 달라붙습니다.
이 기능은 최근 주목받는 '극저온 식각' 공정을 수행할 때 특히 유용합니다. 극저온 식각은 -100도 이하의 저온 환경에서 플라즈마 가스를 방사, 웨이퍼에 미세한 구멍을 뚫는 공정입니다. 이때 플라즈마는 소용돌이치며 기판에 내리꽂는데, 그 충격에 웨이퍼가 조금이라도 흔들리면 공정이 실패할 위험이 있지요.
세라믹이 아닌 다른 물질로 정전척을 만들면, 극저온 환경 때문에 물질 자체에 변질이 생기거나 정전기력이 약해질 수 있습니다. 토토는 1세기 넘게 세라믹 용기를 빚어온 장인 정신과 기술력을 발휘해 신뢰성 높은 정전척을 제조해 왔습니다.
도움 되면 온갖 기술 동원하는 반도체 산업
정전척을 사용하는 극저온 식각은 최근 '슈퍼 사이클'을 맞이한 메모리 반도체에도 중요합니다. 특히 낸드플래시(낸드) 생산의 핵심입니다.
최근 낸드는 메모리셀을 수직으로 높게 쌓아 3차원(3D) 형태로 만들어 용량을 극대화하고 있는데, 메모리셀 사이에 깊은 구멍을 뚫어 데이터 송수신용 전극을 삽입해야 완성됩니다. 극저온 식각 기술을 안정화해야 제품 고도화, 수율 안정화를 이룰 수 있지요.
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제조업의 정점이라 불리는 반도체 산업은 온갖 업계의 최고 기술, 부품만을 엄선해 동원합니다. 얼핏 반도체와는 아무 상관 없어 보이는 변기조차 선단 반도체 공정의 실마리가 될 수 있는 셈입니다.
임주형 기자 skepped@asiae.co.kr
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