테스, 반도체식각장비 관련 특허취득

[아시아경제 오진희 기자]테스는 반도체 제조장치 및 이를 이용한 실리콘 산화막 건식 식각 방법에 관한 특허를 취득했다고 5일 공시했다. 회사측은 이 방법이 저온공정과 고온공정을 하나의 챔버 내에서 진행할 수 있어 공정효율이 증대된다는 장점이 있다고 전했다.

오진희 기자 valere@