테스, 반도체 제조용 서셉터유닛 관련 특허권 취득

[아시아경제 김유리 기자]테스는 31일 반도체 제조용 서셉터유닛 및 이를 이용한 실리콘 산화막의 건식 식각방법에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 "이를 장비 제조 및 개발에 활용해 기술경쟁력 및 원가경쟁력을 향상시킬 계획"이라고 밝혔다.

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김유리 기자 yr61@