위지트, 서셉터 관련 특허권 취득

[아시아경제 김민영 기자]위지트는 기판의 온도 균일성이 향상된 서셉터에 대한 특허권을 취득했다고 2일 공시했다.

회사 측은 "이 기술이 적용된 제품은 전체적인 온도 균일성 및 히터의 수명이 향상됨으로써 공정 중 기판의 얼룩발생을 방지 할 수 있는 제조 방법을 제공한다"고 설명했다.

김민영 기자 argus@asiae.co.kr