테스, 기판처리장치 특허권 취득

[아시아경제 조은임 기자] 테스는 트레이와 이를 구비한 기판처리장치에 관한 특허를 취득했다고 28일 공시했다. 회사 관계자는 "기판의 이송시 위치가 이탈되는 것을 방지하며 기판의 처리시에는 기판의 가장자리까지 균일하게 처리할 수 있어 공정수행시 안정성을 향상시키는 효과를 볼 수 있다"고 밝혔다.

조은임 기자 goodnim@asiae.co.kr