테스, 플라즈마 반응 장치와 관련 특허권 취득

[아시아경제 임혜선 기자]테스는 21일 인젝터 모듈 및 이를 사용하는 플라즈마 반응 장치와 관련된 특허권을 취득했다고 공시했다. 회사 측은 "이 장치는 챔버 내부로 유입되는 공정 가스가 원하지 않는 곳으로 유동하는 것이 저지돼 균일한 박막 형성과 공정 가스의 불필요한 소모를 줄일 수 있다"라고 설명했다.

임혜선 기자 lhsro@asiae.co.kr