원익IPS, 챔버 세정 방법 관련 특허권 취득

[아시아경제 주상돈 기자] 원익IPS는 비정질탄소막 증착공정에서의 챔버 세정 장치 및 이를 이용한 챔버 세정 방법에 관한 특허권을 취득했다고 17일 공시했다.

회사 측은 "챔버 내부로 별도의 분리된 경로를 통해 세정가스를 공급해 챔버 내부 세정 효율 향상시키는 기술"이라고 설명했다.

주상돈 기자 don@