[아시아경제 서소정 기자]LIG에이디피는 기판처리장치 및 이를 이용한 공정챔버의 유지방법(건식식각 장비)에 관한 특허권을 취득했다고 30일 공시했다.
또 터치패널과 디스플레이패널을 합착하는 패널 합착장치에 관한 특허권을 취득했다.
서소정 기자 ssj@
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LIG에이디피, 기판처리장치 관련 특허권 취득
서소정기자
입력2012.11.30 12:25
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