AP시스템은 30일 평면디스플레이(FPD) 기판합착 장치의 상부가압장치 특허권을 취득했다고 공시했다. AP시스템은 이 기술을 액정적하(ODF)장비의 진공흡착공정(VAS)과 FPD장비의 대형 유리기판 가압장치에 활용할 계획이라고 밝혔다.
임선태 기자 neojwalker@asiae.co.kr
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임선태기자
입력2009.06.30 09:57
AP시스템은 30일 평면디스플레이(FPD) 기판합착 장치의 상부가압장치 특허권을 취득했다고 공시했다. AP시스템은 이 기술을 액정적하(ODF)장비의 진공흡착공정(VAS)과 FPD장비의 대형 유리기판 가압장치에 활용할 계획이라고 밝혔다.
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