세메스, 차세대 반도체 KrF 스피너 '오메가 프라임' 개발

일본이 독점하고 있는 장비 '점유율 90%'
우리 업체 중엔 세메스가 유일

반도체 장비업체 '세메스'는 반도체 포토공정에 쓰는 트랙장비인 '불화크립톤(KrF) 스피너'를 개발해 품질테스트를 통과했다고 7일 밝혔다. 설비명은 '오메가 프라임'이다.

세메스가 개발한 불화크립톤(KrF) 스피너 '오메가 프라임'. 사진=세메스 제공

스피너는 반도체 제조공정에서 웨이퍼에 미세회로(패턴)를 새기기 위해 감광액을 골고루 뿌리고 노광기에서 빛을 비춘 후 다시 현상하는 설비다. 이 장비는 현재 일본이 독점하고 있다. 시장점유율은 90%에 달한다. 우리 업체 중에선 세메스가 유일하게 만들고 있다.

반도체에 회로를 새기는 노광 기술에는 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF), 극자외선(EUV)이 있다. 세메스는 그간 KrF 스피너를 비롯해 불화아르곤이머전(ArF-i) 장비를 생산해 왔다. 이번에 개발된 장비는 WLPAD(Word Line Pad) 공정에 대응이 가능하고 시간당 웨이퍼 처리능력도 20% 이상 개선됐다고 회사는 설명했다.

장세연 포토팀장은 "이번 개발로 향후 수입대체 효과가 클 것으로 기대한다"며 "앞으로 고부가가치 중심의 차별화된 설비를 선보여 기술리더십을 주도하겠다"고 말했다.

김형민 기자 khm193@asiae.co.kr