[단독]"대화실패, 6억 내놔라" 유진테크에 특허소송 건 日반도체장비기업

일본 코쿠사이, 유진테크 상대 손배소
본격화된 韓日반도체 특허권 분쟁
반도체 부활 꿈꾸는 기업 소송 이어질수도

일본 반도체장비 업체가 우리 기업을 상대로 특허권 침해소송을 제기한 것으로 확인됐다. 일본이 반도체왕국 부활을 기치로 내걸고 대규모 투자·개발, 글로벌 기업 유치에 적극 나선 상황에서 기술 특허권 확보를 위한 본격행보에 나섰다는 평가가 나온다. 향후 우리 반도체 기업들을 대상으로 특허권 소송이 더 늘어날 가능성도 배제할 수 없다.

21일 관련업계 등에 따르면 일본 첨단 반도체 장비 제조기업인 ‘코쿠사이 일렉트릭’은 국내 자회사인 국제엘렉트릭코리아와 함께 이달 초 우리 중견기업 ‘유진테크’를 상대로 서울중앙지법에 특허권 침해소송을 제기했다.

코쿠사이는 지난해 10월 도쿄증권거래소에 상장된 일본의 반도체 장비 제조기업으로, 상장 당시 소프트뱅크에 이어 5년 만에 일본 내 기업공개(IPO) 최대 규모를 기록해 주목을 받았다. 실리콘 웨이퍼에 성막을 증착하는 장비를 생산하며 인텔 등을 주요 고객사로 두고 있다.

코쿠사이는 손해배상액으로 총 6억원을 청구한 것으로 알려졌다. 회사 측은 "당초 원만한 해결을 위해 유진테크에 지식재산권 침해 사실을 알렸지만, 대화를 통한 합의에는 실패해 불가피하게 소송을 제기했다"고 밝혔다.

코쿠사이는 2011~2022년 자사가 우리나라에서 특허권을 인정받은 기술 4건을 유진테크가 함부로 이용해 지식재산권이 침해됐다고 주장하고 있다. 업계에 따르면 해당 기술들은 원자층증착(ALD) 장비와 관련된 것으로 알려졌다. 반도체 증착 과정에서 원자층을 한층씩 쌓아 올려 박막을 만드는 기술이다. 기존의 물리기상증착(PVD), 화학기상증착(CVD) 방식보다 막을 더 얇게 만들 수 있어 업계에서 많은 주목을 받았다. 유진테크는 2021년 ALD 장비를 상용화했고 사업 영역을 확장하다 특허권 분쟁에 휘말리게 됐다.

유진테크는 최근 송달받은 소장을 검토한 후 전날 전자공시를 통해 피소된 사실을 알리고 "소송대리인을 통해 법적인 절차에 적극적으로 대응할 예정"이라고 밝혔다. 유진테크도 물러서지 않고 맞서기로 한 것으로, 한일 기업 간 소송전이 본격화된 것이다.

코쿠사이의 소송제기는 액수를 떠나 우리 반도체장비 업계에 미치는 파장이 적잖을 것으로 보인다. 유진테크는 박막 형성에 필요한 장비를 개발하는 중견기업으로 2006년 코스닥에 상장된 바 있다. 현재 삼성전자, SK하이닉스, 마이크론 등에 장비를 납품하고 있다. 특히 유진테크는 반도체 핵심장비를 국산화한 공적을 인정받아 2022년 특허청에서 ‘특허 기반 연구개발 전략지원 사업(IP-R&D)’ 우수사례로 선정되기도 했다. 특허문제에서 강점을 갖고 있다고 봤던 회사마저 법적 분쟁을 피하지 못한 것이다. 업계 관계자는 "유진테크가 이 소송에서 지면 업계가 받을 충격은 상당할 것"이라고 내다봤다.

코쿠사이에 이어 일본 반도체기업들의 특허 소송 제기가 이어질 가능성도 배제할 수 없다. 재판 결과가 다른 한·일 반도체기업 간 기술분쟁이 나타날 경우 가이드라인이 될 수 있기 때문이다. 일본은 최근 들어 반도체 기술에 대해 적극적으로 특허를 출원하고 있다. 일본이 특허 기술을 많이 점유할수록 우리 기업들과 충돌할 여지는 더욱 커질 전망이다. 지난해 12월 특허청이 주요국에 출원된 ‘전 세계 반도체 자동이송시스템 특허’를 분석해 발표한 바에 따르면 일본은 2012~2021년 1238건(67.7%)으로 가장 많은 특허를 출원한 것으로 확인됐다. 우리나라는 398건(21.8%)으로 그다음이었다. 주요 출원인도 다이후쿠(608건, 33.3%), 무라타 기계(586건, 32.1%) 등 일본 기업들이 최상위권을 차지했고 우리나라의 세메스(248건, 13.6%)가 그 뒤를 이었다.

김형민 기자 khm193@asiae.co.kr