탑엔지니어링 '기판 식각 장치' 특허 취득

[아시아경제 금보령 기자] 탑엔지니어링은 '기판 식각 장치'와 관련된 국내 특허를 취득했다고 18일 공시했다.

탑엔지니어링 측은 "이번 특허는 기판을 이송하는 구동원에 기인하지 않고, 이송되는 기판의 저면에 접하여 연동 회전되면서 외부에서 흡수된 식각액을 기판의 저면에 연속적으로 공급할 수 있는 기판 식각 장치를 제공하는 것"이라며 "FPD제조 장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 설명했다.

금보령 기자 gold@asiae.co.kr