[아시아경제 오주연 기자]원익IPS는 박막증착장치에 대한 특허권을 취득했다고 16일 공시했다. 회사 측은 반도체 장비의 경쟁력 강화를 위해 활용할 계획이라고 밝혔다.
오주연 기자 moon170@asiae.co.kr
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원익IPS, 박막증착장치 특허권 취득
오주연기자
입력2013.12.16 13:25
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