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원익IPS, 반도체 제조장비 특허권 취득

오현길기자

입력2012.03.09 13:41

[아시아경제 오현길 기자]원익IPS는 반도체 제조장치인 증착 및 세정효율이 개선된 공정 챔버에 관련한 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.


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오현길 기자 ohk0414@
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