코미코, 반도체 관련 특허권 취득

[아시아경제 박현준 기자] 코미코는 28일 반도체용 ESC와 히터 등의 부품에 사용되는 '질화 알루미늄 소결체 및 이를 포함하는 반도체 제조장치용 부재' 특허권을 취득했다고 공시했다.

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박현준 기자 hjunpark@asiae.co.kr