반도체 검사 두 배 빠른 국산장비 개발

기계연, 인텍플러스와 협력 4만 UPH급 반도체 검사장비 공동개발

반도체 검사를 기존보다 2배 이상 정밀하게 측정, 검사할 수 있는 장비가 국내 연구진에 의해 개발됐다.

한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부 이창우 박사팀은 (주)인텍플러스와 함께 반도체 검사 속도가 2배 이상 빨라진 4만UPH(unit per hour)급 반도체 검사 장비를 개발, 사업화에 성공했다고 25일 밝혔다.

이 기술은 반도체의 불량여부를 판단하는데 꼭 필요한 장비로 활용도가 매우 높다는 게 기계연구원의 설명이다.

이 장비는 고속측정 모듈을 개발하고 기존 핸들러 무게를 40%이상 줄여 1시간에 반도체 4만개를 검사할 수 있는 세계 최고 수준의 검사 속도를 이뤘다.

이창우 박사는 “반도체 검사장비의 선두주자 벨기에가 70%이상을 독점하고 있는 국내시장에서 이 장비개발로 시장 점유율을 늘리고 해외수출의 발판을 마련할 수 있을 것”이라고 말했다.

노형일 기자 gogonhi@asiae.co.kr