세메스, 반도체 매엽식 세정장비 양산 판매 2500호기 달성

반도체 장비업체 '세메스'는 자사의 반도체 매엽식 세정장비 양산 판매 대수가 우리나라 최초로 2500호기를 달성했다고 1일 밝혔다.

세메스 초임계 세정장비 퓨어시스. 사진=세메스

2006년 7월 처음 양산 개발한 이래 지금까지 누적 매출도 7조원을 넘어선 것으로 집계됐다.

매엽식 세정은 반도체 웨이퍼의 회로 선폭이 점점 미세해지면서 웨이퍼 표면에 남아있는 파티클(오염물질)을 제거하기 위해 반도체 웨이퍼를 한장씩 개별적으로 세정하는 방식이다. 세메스의 매엽식 세정장비의 주요 기술은 국가핵심기술 판정을 받았다.

이들 설비는 다양한 소재와 신기술을 적용해 세정 성능을 기존 대비 90% 이상 크게 향상시켰다. 웨이퍼의 오염 상태에 따라 세정 방식을 조절할 수 있도록 제작됐다.

김경현 세메스 클린팀장은 "앞으로 다양한 공정기술이 융복합된 신제품 개발 및 친환경 설비경쟁력 확보를 통해 명실상부한 반도체 세정장비 리딩컴퍼니로 도약하겠다"고 말했다.

김형민 기자 khm193@asiae.co.kr