세메스, 반도체 세정기술 국가핵심기술 판정

반도체 장비업체 '세메스'는 산업통상자원부가 주관하고 산업기술보호협회가 심사·운영하는 국가핵심기술에 자사의 반도체 세정공정 기술이 판정됐다고 8일 밝혔다.

세메스 반도체 매엽식 습식 세정장비 로터스. 사진=세메스

국가핵심기술은 기술적, 경제적 가치가 높아 해외 유출 시 국가에 중대한 피해를 줄 우려가 있는 산업기술을 말한다. 국내외 유출방지 및 보호를 위해 2007년 도입됐다. 정부의 기술보호 정책에 따라 해당 기술이 유출될 시 관계자들은 법적 처벌을 받게 된다.

세메스의 반도체 세정 공정기술은 30나노미터(1nm=1억분의 1미터) 이하급 D램, 파운드리(반도체 위탁생산)는 물론, 64단 이상의 적층 3D 낸드플래시에 적용되는 설계·공정·소자 및 3차원 적층형성 기술이다.

이번 판정으로 세메스는 세계 1위의 반도체 세정공정 기술을 보유한 업체로 인정받았다. 이 기술을 보호하기 위해 세메스는 협력사와의 기술보호 규정을 강화하고 기술자료에 대한 접속을 제한하는 등 보안 점검 및 인프라 구축에도 적극 나서고 있다.

심상필 세메스 대표는 "산업기술 보호 및 육성에 대한 중요성이 날로 커지고 있는 만큼 앞으로도 핵심 공정기술을 보호하고 정부의 다양한 지원 혜택도 받을 수 있는 국가첨단전략기술 신청을 통해 최고 수준의 기술 보유기업으로 거듭나겠다"고 밝혔다.

김형민 기자 khm193@asiae.co.kr