테스, 리프트핀유닛의 이동방법 및 기판처리장치 관련 특허권 취득

[아시아경제 오주연 기자] 테스는 리프트핀 유닛의 이동방법 및 기판처리장치에 대해 국내 특허를 취득했다고 3일 공시했다. 회사 측은 "장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화를 꾀할 것"이라고 설명했다.

오주연 기자 moon170@asiae.co.kr