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테스, 리프트핀유닛의 이동방법 및 기판처리장치 관련 특허권 취득

오주연기자

입력2019.12.03 16:06

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[아시아경제 오주연 기자] 테스는 리프트핀 유닛의 이동방법 및 기판처리장치에 대해 국내 특허를 취득했다고 3일 공시했다. 회사 측은 "장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화를 꾀할 것"이라고 설명했다.

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