참엔지니어링, 기판처리장치 특허권 취득

[아시아경제 양성희 기자] 참엔지니어링은 기판 처리 장치 특허권을 취득했다고 7일 공시했다. 해당 특허는 복수의 기판을 동시에 처리할 수 있는 배치타입의 기판처리장치에 관한 것이다.

양성희 기자 sunghee@asiae.co.kr