테스, 유기금속화학증착 반응기 특허 취득

[아시아경제 김철현 기자] 테스는 회전하는 가스 분배기를 이용해 기판에 균일한 막질을 형성할 수 있고 소모되는 가스의 양을 감소시킬 수 있는 유기금속화학증착 반응기 특허를 취득했다고 14일 공시했다.

김철현 기자 kch@asiae.co.kr