테스, 플라즈마 처리장치 특허 취득

[아시아경제 김영식 기자]코스닥 상장기업 테스는 "플라즈마의 생성공간을 제한함으로써 부산물에 의하여 피처리 기판이 오염되는 것을 방지하는 기술 특허를 취득했다"고 7일 공시했다.

김영식 기자 grad@asiae.co.kr