테스, 기판처리장치 관련 특허권 취득

[아시아경제 정재우 기자] 테스는 9일 기판처리장치 관련 특허권을 취득했다고 공시했다. 회사 측은 이번에 취득한 특허를 통해 생산성이 향상될 뿐 아니라, 한 쌍의 기판을 균일한 품질로 처리할 수 있게 됐다"고 설명했다.

정재우 기자 jjw@