테스, 플라즈마 발생 모듈 등 기판 처리 장치 특허

[아시아경제 김유리 기자]테스는 21일 플라즈마 발생 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.

회사 측은 "대기압과 같은 높은 압력에서도 안정적인 방전이 가능해, 라디칼을 이용한 기판 처리 공정이 용이한 장점이 있다"고 설명했다.

김유리 기자 yr61@