테스, 기판 처리 장치 관련 특허 취득

[아시아경제 황준호 기자] 테스는 기판 처리 장치 관련 특허를 취득했다고 25일 공시했다. 테스는 이번 특허로 기판 상에 형성되는 박막의 막밀도 및 내식각성이 향상될 것으로 전망했다.

황준호 기자 rephwang@