[아시아경제 심나영 기자]로체시스템즈는 밀폐형 카세트 적재장치에 관한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다. 이 기술은 밀폐형 카세트 내에 적재되어 있는 반도체나 유리기판의 반송작업을 할 수 있도록 하는 것으로, 자사 반도체 제조장치에 적용될 예정이라고 밝혔다.
심나영 기자 sny@
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로체시스템즈, 밀폐형 카세트 적재장치 특허권 취득
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