참엔지니어링, 기판용 지지 유닛 및 기판처리 장치 특허

[아시아경제 이광호 기자]참엔지니어링은 기판용 지지 유닛 및 이를 이용한 기판 처리 장치에 대한 특허권을 취득했다고 11일 공시했다.

이광호 기자 kwang@