[아시아경제 조슬기나 기자]원익아이피에스는 진공처리장치의 기판 로딩 및 언로딩 정확도 개선을 위한 리프트핀 구동기술에 관한 특허권을 취득했다고 18일 공시했다.
조슬기나 기자 seul@
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조슬기나기자
입력2011.08.18 10:42
수정2011.08.18 15:23
[아시아경제 조슬기나 기자]원익아이피에스는 진공처리장치의 기판 로딩 및 언로딩 정확도 개선을 위한 리프트핀 구동기술에 관한 특허권을 취득했다고 18일 공시했다.
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