에스엔유, LCD 표면형상 측정 특허

[아시아경제 고형광 기자] 에스엔유프리시젼은 LCD 및 반도체용 제조 장비의 두께 또는 표면 형상을 측정할 수 있는 특허를 취득했다고 18일 공시했다.

또한 이 회사는 "증착장비에서 방출된 소스가 증착장비를 손상시키는 것을 기술적으로 제어해 장시간 연속공정을 가능하게 하는 진공증착장비도 특허를 취득했다"고 덧붙였다.

고형광 기자 kohk0101@