테스, 반도체 식각 장비 관련 특허 취득

[아시아경제 성정은 기자]테스는 반도체 제조 장비 및 이를 이용한 실리콘 산화막 건식 식각 방법 특허를 취득했다고 10일 공시했다. 회사 측은 이 기술을 장비 제조 및 개발에 활용해 기술경쟁력 및 원가경쟁력을 높일 계획이라고 밝혔다.

성정은 기자 jeun@