주성엔지니어링, 반도체 사업 관련 특허 3개 취득

[아시아경제 김철현 기자]주성엔지니어링은 반도체 사업과 관련해 '산화알루미늄막의 원자층증착방법', '반도체 웨이퍼 제조장비의 히터블록', '리프트핀 지지대' 등 3개의 특허권을 취득했다고 8일 공시했다.

김철현 기자 kch@