주성엔지니어링, 원자층 증착장치 관련 특허 취득

[아시아경제 이창환 기자] 주성엔지니어링은 원자층 증착장치의 가스밸브 어셈블리 관련 특허를 취득했다고 29일 공시했다.

이창환 기자 goldfish@