[아시아경제 명진규 기자]테스는 12일 플라즈마 처리장치 특허권을 취득했다고 공시했다. 이 특허는 플라즈마 기판의 배면에 직접 플라즈마 가스를 공급해 플라즈마를 발생시키고 분포 밀도를 높여 공정 기간을 단축시키고 공정 효율을 높일 수 있다. 테스는 이번 특허를 반도체와 태양전지 장비 개발에 활용할 계획이다.
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명진규 기자 aeon@
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