제일모직, CMP슬러리 특허 소송서 美 업체에 승소

[아시아경제 김현정 기자] 제일모직은 미국 캐보트 마이크로일렉트로닉스와의 반도체 웨이퍼 연마제 특허 항소심 소송에서 최근 승소했다고 7일 밝혔다.

서울 고등법원 제 4 민사부는 판결문을 통해 "제일모직의 제품은 반도체 기판 제조기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있는 자유기술에 해당 하므로, 원고의 특허권을 침해했다고 할 수 없어 원고의 항소를 기각한다" 판결했다.

반도체 웨이퍼 연마용 슬러리는 반도체 회로를 구성하기 위해 웨이퍼를 평탄화하는 재료로 반도체 고집적화의 핵심소재 기술이다. 현재 세계 시장은 미국의 캐보트와 일본의 히타치 등의 업체가 선점하고 있으며, 제일모직은 전자재료 사업을 본격화한 지난 2003년에 삼성전자를 통해 시장에 진출했다.

이번 판결은 특허법원에서 진행 중인 캐보트의 특허 유·무효 심판에 관계 없이 침해사건 재판부인 서울고등법원이 제일모직의 제품을 자유실시 기술로서 특허 비침해라고 판결했다는 점에서 주목 받고 있다. 제일모직 관계자는 이번 항소심 승소로 "현재 진행 중인 특허무효 2심 심판에서도 유리한 고지를 점하게 됐다"면서 "자체 기술력을 바탕으로 반도체소재 시장 에서 향후 안정적으로 제품 공급에 나서겠다"고 말했다.

한편, 이번 소송은 시장 선두업체인 미국의 캐보트가 지난 2007년 7월 제일모직을 상대로 서울 중앙지법에 특허 침해소송을 제기하면서 시작됐다. 이에 제일모직은 특허심판원에 특허 무효소송을 제기해 2008년 8월 1심에서 특허무효 판결을 받은 후 현재 2심이 진행 중 이다.

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