참앤씨는 3일 다수의 안테나를 구비해 플라즈마 균일도를 높일 수 있는 유도결합 프라즈마 처리장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.
구경민 기자 kkm@asiae.co.kr
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구경민기자
입력2009.02.03 16:14
참앤씨는 3일 다수의 안테나를 구비해 플라즈마 균일도를 높일 수 있는 유도결합 프라즈마 처리장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.
구경민 기자 kkm@asiae.co.kr
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