원다라기자
▲삼성전자 화성 EUV 라인 조감도.(제공=삼성전자)
[아시아경제 원다라 기자] 삼성전자가 화성에 6조원 규모의 극자외선노광(EUV) 라인 착공에 들어갔다. EUV라인을 통해 글로벌 파운드리(반도체 위탁생산) 시장 점유율을 빠르게 높여나간다는 계획이다. 삼성전자는 23일 경기도 화성캠퍼스에서 '삼성전자 화성 EUV 라인 기공식'을 개최했다. 초기 투자규모는 건설비용 포함 2020년까지 6조원(60억달러) 수준으로 삼성전자는 라인 가동 이후 시황에 따라 추가 투자를 추진할 계획이다. 2019년 하반기 완공된다. 삼성전자는 시험생산을 거쳐 우선 7나노 이하 파운드리(반도체 위탁생산) 제품을 양산하고 추후 EUV를 활용한 메모리 반도체 생산 여부도 검토할 예정이다.EUV라인에는 약 1대당 1500억원 수준의 가격인 첨단 극자외선노광(EUV)장비가 10대 정도 우선 투입된다. EUV 노광기는 기존 불화아르곤(ArF, 193nm) 대신 EUV를 광원으로 쓰는 차세대 노광기다. 미세한 회로 패턴을 그려넣을 수 있는 장비다. 7나노 공정은 10나노 공정 대비 칩 면적을 40% 축소할 수 있고, 성능을 10% 향상시킬 수 있다. 전력 효율도 35% 개선된다.이날 기공식에는 권칠승 국회의원(화성시병), 황성태 화성시 부시장, 김기남 삼성전자 DS부문장(사장), 정은승 삼성전자 파운드리 사업부장(사장), 지역주민 등 약 300명이 참석했다. 김 부문장은 기념사를 통해 "이번 화성 EUV 신규라인 구축을 통해 화성캠퍼스는 기흥ㆍ화성ㆍ평택으로 이어지는 반도체 클러스터의 중심이 될 것"이며, "삼성전자는 산학연 및 관련 업계와의 다양한 상생협력을 통해 국가경제에 기여할 것"이라고 말했다.삼성전자는 화성 EUV라인을 통해 그동안 약점으로 지목되어왔던 파운드리 시장 점유율 순위를 빠르게 따라잡는다는 계획이다. D램, 낸드플래시 등 메모리반도체 분야에선 독보적 1위를 지켜온 삼성전자는 파운드리 시장에선 4위에 머물러있다. 지난해 5월에는 시스템LSI 사업부를 팹리스 사업부와 파운드리 사업부로 분리했다. 삼성전자는 올해 세계 파운드리 시장점유율 2위를 달성하고, 부동의 1위 대만 TSMC의 뒤를 바짝 쫓을 계획이다.