[아시아경제 권성회 기자] 테스는 반도체 장비에 적용되는 기판 처리 장치에 관해 특허권을 취득했다고 20일 공시했다. 회사 측은 “기판 처리 시 이송 로봇의 직선 운동 과정에서 발생하는 흔들림으로 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있으며, 웨이퍼 이송을 보다 안정적으로 진행 할 수 있다”고 설명했다. 권성회 기자 street@asiae.co.kr<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
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