[아시아경제 김민영 기자]위지트는 기판의 온도 균일성이 향상된 서셉터에 대한 특허권을 취득했다고 2일 공시했다. 회사 측은 "이 기술이 적용된 제품은 전체적인 온도 균일성 및 히터의 수명이 향상됨으로써 공정 중 기판의 얼룩발생을 방지 할 수 있는 제조 방법을 제공한다"고 설명했다. 김민영 기자 argus@asiae.co.kr<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
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