테스, 기판 처리 장치 특허권 취득

[아시아경제 이광호 기자]테스는 기판 처리 장치에 대한 특허권을 취득했다고 22일 공시했다.이광호 기자 kwang@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>