원익IPS, 반도체 제조장비 특허권 취득

오현길기자

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[아시아경제 오현길 기자]원익IPS는 반도체 제조장치인 증착 및 세정효율이 개선된 공정 챔버에 관련한 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.오현길 기자 ohk0414@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>

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