[아시아경제 박민규 기자] 테스는 기판 처리 장치 및 방법에 관한 특허를 취득했다고 25일 공시했다. 이를 통해 배기 압력 분포를 공정 중단 없이 쉽게 조절할 수 있고 막 균일도의 저하를 방지할 수 있다고 테스는 설명했다.박민규 기자 yushin@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
금융부 박민규 기자 yushin@ⓒ 경제를 보는 눈, 세계를 보는 창 아시아경제
무단전재, 복사, 배포 등을 금지합니다.