테스, 기판처리장치 특허 취득

[아시아경제 황준호 기자] 테스는 기판처리장치 특허권을 취득했다고 18일 공시했다. 테스는 특허를 통해 기술 및 원가경쟁력 강화에 활용한다. 황준호 기자 rephwang@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>