ASML, 동탄2지구 1만9000㎡ 부지에 R&D센터 건립

'뉴 캠퍼스' 옆 부지 6필지 LH와 매입 계약 체결
EUV 활용 삼성전자 초미세 반도체 공정 R&D센터 건립

극자외선(EUV) 노광장비 세계 1위 기업인 ASML이 경기도 화성 동탄2신도시에 연구개발(R&D)센터를 짓는다. 현재 이 회사가 조성 중인 '화성 뉴 캠퍼스(New Campus)' 바로 옆이다.

4일 화성시와 한국토지주택공사(LH)에 따르면 ASML은 LH와 지난달 28일 동탄2신도시 74블록 일대 6필지 규모의 토지매입 계약을 체결했다. 매입 대상 토지 면적은 약 1만9000㎡다.

ASML은 이 부지에 삼성전자와 공동으로 약 1조원을 투자해 EUV 활용 초미세 반도체 제조 공정 연구개발 지원을 위한 시설을 건립할 계획이다. 양측의 투자 규모는 ASML이 4000억원, 삼성전자가 6000억원이다.

ASML이 동탄2신도시를 R&D센터 건립 대상지로 선택한 것은 현재 건립 중인 화성 뉴 캠퍼스와의 시너지 효과를 고려한 것으로 파악된다. 당초 업계에서는 R&D센터 부지 후보지로 동탄2신도시 외에 삼성전자의 생산라인이 들어설 용인 이동·남사읍 일대 첨단 시스템반도체 국가산업단지가 거론돼 왔다.

ASML이 새 연구개발센터 부지를 화성 동탄2신도시로 확정하고 토지 매입계약을 체결했다. 4일 정명근(오른쪽) 화성시장이 시청을 방문한 프랭크 헤임스케르크 ASML 대외총괄 부사장 일행과 환담하고 있다. [사진제공=화성시]

ASML은 현재 동탄2신도시 1만6000㎡ 부지에 2025년 완공을 목표로 지하 4층~지상 11층 2개 동 규모로 뉴 캠퍼스를 조성 중이다. ASML은 이곳에 2400억원을 투자해 심자외선·극자외선 노광장비와 관련한 부품 등 재제조 센터와 첨단 기술을 전수하기 위한 글로벌 트레이닝 센터 등을 건립한다는 방침이다.

한편 정명근 화성시장은 방한 중인 프랭크 헤임스케르크 ASML 대외총괄 부사장과 만나 "화성에서 추진하는 ASML 프로젝트의 성공을 위해 각종 인허가부터 밀착 지원하는 원스톱 서비스를 제공하겠다"고 밝혔다. 이에 대해 헤임스케르크 부사장은 "삼성전자는 ASML의 중요 고객사"라며 "이번 R&D센터 건립은 양사 간의 기술동맹을 돈독히 하고 화성시 반도체 기업과의 협력을 확대·강화하는 계기가 될 수 있을 것으로 기대한다"고 답했다.

정두환 기자 dhjung69@asiae.co.kr