검찰, 삼성전자 자회사 핵심기술 국외유출범 5명 기소

초임계 반도체 세정장비 중국에 유출돼
수원지검, 국가핵심기술 유출 사건 수사 마무리

[아시아경제 최석진 법조전문기자] 삼성전자 자회사인 세메스가 세계 최초로 개발한 '초임계 반도체 세정장비' 관련 기술을 중국으로 유출한 일당이 재판에 넘겨졌다.

16일 수원지검 방위사업·산업기술범죄형사부(부장검사 박진성)는 반도체 세정장비 제작업체인 세메스의 반도체 세정장비 기술을 국외로 유출한 사건을 수사한 결과, 세메스 전 직원이 중국 조선족 기술 유출 브로커를 통해 세메스가 세계 최초로 개발·양산에 성공해 국내 반도체 회사에 독점적으로 납품하는 초임계 반도체 세정장비 관련 국가핵심기술을 국외로 유출한 사실을 밝혀내, 세메스 전 연구원 등 4명을 구속기소하고 1명을 불구속 기소했다고 밝혔다.

경기도 수원시 영통구 수원지방검찰청.

초임계 반도체 세정장비는 약액 등으로 20나노미터 이하의 메모리 반도체 집적회로를 만드는데 사용되는 웨이퍼를 세정한 후 웨이퍼를 건조시키는 단계에서 초임계 상태(임계 이상의 고온·고압의 물질의 상태)의 이산화탄소를 이용해 웨이퍼를 건조하는 장비로 세메스가 세계 최초로 개발 및 상용화에 성공했다. 기판의 손상을 최소화해 초미세 반도체의 불량률을 줄일 수 있는 이 기술은 산업부가 '국가핵심기술'로 지정하기도 했다. 현재 세메스 외에 일본 반도체 장비 회사 도쿄일렉트론(TEL)에서만 초임계 세정장비를 개발·생산하고 있다.

2021년 매출 약 3조1280억원을 기록한 세메스는 국내 1위 반도체 세정장비 제작업체이자 세계 3대 반도체 세정장비 제작업체다.

검찰은 부정경쟁방지법 위반(영업비밀국외누설·영업비밀누설) 및 산업기술보호법 위반, 특정경제범죄법 위반(횡령) 등 혐의로 세메스 전 직원인 주범 A씨(47)를 구속기소했다. 또 검찰은 부정경쟁방지법 위반(영업비밀누설) 및 산업기술보호법 위반 혐의로 세메스 전 연구원 B씨를 구속기소하고, 중국 국적의 기술 유출 브로커 C씨를 A씨와 같은 혐의로 구속기소했다. 세메스의 기술 유출에 가담한 협력사 대표 D씨와 협력사 직원 E씨도 산업기술보호법 위반 및 부정경쟁방지법 위반 혐의로 각각 구속·불구속 기소됐다.

2016년 세메스에서 퇴직한 A씨는 2019년 F사를 설립했다.

검찰에 따르면 A씨 등은 2021년 6월경 세메스 협력사 대표인 D씨로부터 세계 최초로 개발 및 양산에 성공한 초임계 반도체 세정장비의 핵심 도면을 부정취득한 뒤 이를 기술 유출 브로커 C씨를 통해 중국에 누설한 혐의를 받고 있다.

또 2021년 3월~4월경 세메스를 퇴직하며 반출한 자료를 이용해 삼성전자의 메모리 및 파운드리 반도체 제작 공정 중 세메스의 세정장비가 사용되는 공정별 기술 정보(약액조성비 및 설비 사양 등) 및 로봇 셋팅값 등을 정리한 후 이를 F사 팀장들에게 누설한 혐의도 받고 있다. 검찰은 B씨가 자신의 아내 명의로 F사에 취업한 뒤 세메스의 관련 정보들을 총망라해 정리한 뒤 F사 팀장들에게 배포한 사실을 확인했다.

이들은 2021년 5월~7월경 세메스가 세계 2번째로 개발에 성공한 매엽식 인산 세정장비 기술 정보를 부정사용해 PPT 설명자료를 제작한 뒤 이를 사내 이메일을 통해 F사 팀장들에게 누설한 혐의도 있다. 인산 세정장비는 인산 약액을 사용해 반도체 웨이퍼를 1개씩 세정하는 장비로, 웨이퍼 표면에 남아있는 실리카 등을 제거하는 데 쓰인다. 이와 같이 웨이퍼 1장씩을 세정하는 매엽식 인산세정장비는 일본 시바우라사 외에 세계에서 세메스만 개발에 성공했다.

이 밖에도 A씨는 2019년 7월부터 지난해 10월 사이 자신의 명의로 설립한 페이퍼컴퍼니를 이용한 끼워넣기 거래를 통해 16억원, 허위 세금계산서 발급을 통해 11억원 등 총 27억원의 F사 자금을 횡령한 혐의도 있다. 브로커 C씨는 이 중 허위 세금계산서 발급을 통한 11억원 횡령에 가담한 혐의도 적용됐다.

A씨는 지난해 5월 세메스가 개발한 습식 반도체 세정 장비 기술을 유출한 혐의로 한차례 구속기소된 바 있다. 그는 같은 해 11월 구속기한 만료 등으로 보석으로 풀려나 불구속 재판을 받아왔으나, 검찰이 추가 기술 유출 범죄를 밝혀내면서 다시 수감됐다.

검찰은 지난해 5월~9월 사이 모두 3번의 추징보전 집행을 실시해 반도체 세정장비 본체 6개 등 234억원 상당의 유체동산과 301억원 상당의 예금채권과 부동산에 대한 가압류 등을 통해 총 535억원 상당의 재산에 대해 보전조치를 취했다.

수원지검 관계자는 "피고인들은 2019년 12월부터 지난해 7월까지 3년 동안 총 20대의 세정장비 등을 수출해 약 1193억원 상당의 막대한 이득을 취득했다"라며 "피해 회사는 2009년부터 2021년까지 인건비를 포함해 초임계 기술개발 연구비 등 약 350억원을 투자했다"고 밝혔다.

이어 "최소 같은 금액(350억원) 이상의 직접 손해가 발생했으며 나아가 세메스의 기술경쟁력 저하로 인해 주요 거래처 수주가 10%만 감소해도 연간 400억원 이상의 손해 발생이 우려되는 상황"이라고 전했다.

박진성 부장검사는 "수원지검은 첨단산업보호 중점검찰청으로서 앞으로도 건전한 기술 개발 풍토를 해치고 공정한 시장 경쟁 질서를 해치는 산업기술 및 영업비밀 침해행위를 엄단함은 물론, 재발 방지를 위해 범죄수익을 끝까지 추적해 환수하겠다"고 말했다.

최석진 법조전문기자 csj0404@asiae.co.kr