반도체 공정 비용 100분의1로 낮춘다

국내 연구팀, 테라헤르츠파 굴절률 분포형 렌즈 개발

▲ 굴절률 분포형 렌즈 원리[사진제공=카이스트]

[아시아경제 정종오 기자] 기존 반도체 공정 비용을 100분 1로 낮출 수 있는 기술이 개발돼 관심을 모으고 있다. 테라헤르츠파 굴절률 분포형 렌즈를 국내 연구팀이 만들었는데 신기루 현상에서 착안해 눈길을 끈다.

찌는 듯한 한여름. 아스팔트 도로에 물웅덩이가 보이다가 가까이 다가가면 사라지고 다시 가다보면 또 물웅덩이가 나타난다. 이른바 '신기루'라고 불리는 이 현상은 지표면 가까운 공기층의 큰 온도차로 인한 공기밀도 변화로 빛이 굴절되기 때문에 일어난다.

한국과학기술원(카이스트·총장 강성모) 바이오 및 뇌공학과 정기훈(42) 교수는 물리학과 안재욱(44) 교수와 신기루 현상에서 착안한 물리적 효과를 이용해 테라헤르츠파 굴절률 분포형 렌즈를 세계 최초로 개발했다고 24일 발표했다.

실리콘 소재를 곡면으로 가공해 만드는 카메라렌즈에 사용되는 기존방식과 달리 이번에 개발된 렌즈는 평평한 실리콘 웨이퍼를 소재로 반도체 양산공정으로 제작해 비용을 최대 100분의1 수준으로 낮출 수 있다. 제작시간도 훨씬 단축된다. 광원 추출효율은 4배 이상 향상시켰다.

테라헤르츠파는 0.1~30THz(테라헤르츠, 1조헤르츠) 대역의 전자기파로 가시광선이나 적외선보다 파장이 길어 X선처럼 물체의 내부를 높은 해상도로 정확히 식별할 수 있다. 보안검색, 의료영상기술 등 비파괴 검사 도구나 의료용 진단기구의 성능을 획기적으로 향상시킬 수 있을 것으로 전망된다.

이런 장점에도 불구하고 넓은 대역의 주파수 특성으로 인해 손실되는 전자기파의 비율이 높아 테라헤르츠파를 높은 효율로 집중시킬 수 있는 광학소자 개발이 요구됐다.

정 교수 연구팀은 평평한 실리콘에 테라헤르츠파 파장(약 300㎛)보다 작은 80~120㎛ 크기의 구멍을 반도체 양산방법인 광식각 공정으로 만들었다. 렌즈 가장자리로 갈수록 홀 사이즈는 크게 만들었다.

테라헤르츠파를 쪼이자 공기와 실리콘 중 공기 비율이 높은 가장자리는 굴절률이 낮았고 상대적으로 공기의 비율이 낮은 가운데는 굴절률이 높았다. 평평한 소재를 광학특성을 공학적으로 설계해 빛을 모으는 볼록렌즈와 같은 기능을 한 것으로 신기루 현상과 같은 물리적 효과와 같다.

정기훈 교수는 "자연현상에서 착안해 자연계에 존재하지 않는 다양한 광학특성을 띠는 메타물질을 인공적으로 만든 것"이라며 "물질적 제약으로 인해 다양한 광학소자개발이 더딘 테라헤르츠파 기술 진보에 상당한 도움이 될 것"이라고 말했다.

이번 연구결과는 미국물리협회에서 발간하는 국제학술지인 '어플라이드 피직스 레터(Applied Physics Letter)'의 9월자 특집논문 및 표지논문(제1저자 박상길 박사과정)으로 실렸다.

정종오 기자 ikokid@asiae.co.kr