[아시아경제 김소연 기자]미코는 주력 제품인 플라즈마 화학 증착 장비(PE-CVD) 공정용 세라믹 히터의 누적 판매량이 1000대를 돌파했다고 7일 밝혔다.
회사 관계자는 “지난 2012년 국내 최초로 해당 장비의 국산화에 성공한지 2년여 만에 올린 쾌거”라며 “국내 반도체 장비용 세라믹 히터 시장의 수입 대체 효과에도 기여했다는 점에서 의미가 크다”고 강조했다. 그동안은 외산 제품이 전체 시장의 90% 이상을 과점하고 있었다.
회사 측은 판매량이 급신장할 수 있었던 배경으로 히터에 미코에서 자체 개발한 원료로 만든 세라믹 소재를 채택해 내구성과 내고온성 등을 높인 것을 꼽았다. 반도체 공정 중 챔버 내에서 웨이퍼를 증착할 때는 챔버의 온도를 균일하게 유지하기 위해 히터를 사용하는데 히터의 내구성과 내고온성이 높을수록 챔버의 온도도 균일하게 유지될 수 있다는 설명이다.
이에 따라 미코는 올 상반기에만 지난해 전체 세라믹 히터 매출에 육박하는 80억원의 세라믹 히터 매출을 기록했다. 올 2분기는 주력 제품의 매출 증가로 인해 흑자로 돌아설 수 있을 것으로 전망하고 있다.
미코 전선규 대표이사는 “고객사 다변화를 위해 국내뿐만 아니라 세계적인 장비 업체들에게도 공격적으로 마케팅을 하고 있다”면서 “또 다른 기능성 부품인 세라믹 ESC(정전척)도 미국 플래시 메모리 솔루션 업체인 스팬션(Spansion Inc.,)에 품질 인증돼 정식 오더를 받는 등 글로벌 소재 부품 회사로 발돋움하고 있다"고 강조했다.
김소연 기자 nicksy@asiae.co.kr
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