참엔지니어링, 기판 처리장치 관련 특허권 취득

[아시아경제 김혜민 기자] 참엔지니어링은 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 대한 특허권을 취득했다고 14일 공시했다.

회사 측은 "공정 시간을 단축하고 공정 효율을 향상시킬 수 있어 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력이 강화될 것"이라고 설명했다.

김혜민 기자 hmeeng@