로보스타, 웨이퍼 이송장비 특허 취득

[아시아경제 오진희 기자]로보스타는 웨이퍼 이송장비와 관련 특허를 취득했다고 9일 공시했다. 이 장비는 웨이퍼의 위치를 인식하고 흡착해 정해진 위치로 정확하게 정렬시키며 웨이퍼들을 각각의 위치에 정렬시키는 과정에서 얇은 웨이퍼가 손상 또는 파손되는 것을 방지하는 기술이라는 게 회사설명이다.

오진희 기자 valere@