[아시아경제 김철현 기자]테스는 건식식각장치 및 이를 구비한 기판처리시스템에 대한 특허를 취득했다고 5일 공시했다.
김철현 기자 kch@
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테스, 기판처리시스템 특허 취득
김철현기자
입력2012.06.05 15:22
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