[아시아경제 최대열 기자]SMEC는 레이저를 이용한 비아홀 가공장치에 대해 특허를 얻었다고 7일 공시했다. 반도체 웨이퍼 제조공정에 적용해 생산성을 높일 수 있는 기술이라고 회사는 설명했다.
최대열 기자 dychoi@
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SMEC, 레이저 이용 비아홀 가공장치 특허
최대열기자
입력2011.12.07 11:46
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